ເຄື່ອງເຢັນ

ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, wafer ແລະ chip ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ເລື່ອງຄວາມເຢັນໃຫ້ພຽງພໍ ແຕ່ເປັນເງື່ອນໄຂສຳຄັນຕໍ່ຄວາມສະໝ່ຳເສມຂອງການທົດສອບ, ຄຸນນະພາບຊິ້ນງານ ແລະ ສະເຖີຍະພາບຂອງອຸປະກອນ. ເຄື່ອງເຢັນ ທີ່ໃຊ້ໃນງານອຸດສາຫະກຳກຸ່ມນີ້ຈຶ່ງຕ້ອງຮອງຮັບທັງການລະບາຍຄວາມຮ້ອນ, ການໝຸນວຽນຂອງຂອງໄຫຼ ແລະ ການຄວບຄຸມ set point ຢ່າງແມ່ນຍຳ.

ໜ້າໝວດນີ້ລວບຮວມອຸປະກອນສຳລັບວຽກງານຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນລະບົບ process ແລະ ວົງຈອນໄຫຼວຽນ ໂດຍເໝາະສຳລັບຫ້ອງທົດລອງ, ສາຍການຜະລິດ ແລະ ງານທົດສອບທາງເທັກນິກທີ່ຕ້ອງການຄ່າອຸນຫະພູມຄົງທີ່ ຫຼື ອຸນຫະພູມຕ່ຳຫຼາຍ.

ບົດບາດຂອງເຄື່ອງເຢັນໃນງານ wafer ແລະ chip

ໃນລະບົບກວດກາ ແລະ ທົດສອບ semiconductor, ຄວາມຮ້ອນທີ່ສະສົມຈາກ chuck, stage, laser, power module ຫຼື ອຸປະກອນຂັບເຄື່ອນອາດສົ່ງຜົນຕໍ່ຄ່າວັດແທກໂດຍກົງ. ການໃຊ້ເຄື່ອງເຢັນທີ່ເໝາະສົມຊ່ວຍໃຫ້ລະບົບຮັກສາສະພາບການເຮັດວຽກໄດ້ສະໝ່ຳເສມ ແລະ ຫຼຸດຄວາມຜັນຜວນຈາກອຸນຫະພູມ.

ສຳລັບງານທີ່ອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ, ຜູ້ໃຊ້ມັກພິຈາລະນາທັງຄວາມສາມາດ cooling, ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງການຄອນໂທຣນ, ອັດຕາໄຫຼ, ແຮງດັນສົ່ງ ແລະ ຄວາມປອດໄພໃນການໃຊ້ງານ. ຖ້າໂຄງການຂອງທ່ານກ່ຽວຂ້ອງກັບການຈັດການ thermal profile ໂດຍລະອຽດ, ອາດຄວນເບິ່ງເພີ່ມເຕີມໃນ ລະບົບການທົດສອບຄວາມຮ້ອນ ເພື່ອເທົ່າທັນຄວາມຕ້ອງການລະບົບໂດຍຮວມ.

ຮູບແບບເຄື່ອງເຢັນທີ່ພົບໃນໝວດນີ້

ອຸປະກອນໃນໝວດນີ້ມີທັງແບບສຳລັບ ວົງຈອນເປີດ ແລະ ແບບ process chiller ທີ່ອອກແບບສຳລັບງານອຸນຫະພູມຕ່ຳຫຼາຍ. ຕົວຢ່າງເຊັ່ນ TAITEC CL-81, CL-151 ແລະ CL-601 ເຫມາະກັບການໝຸນວຽນຂອງນ້ຳ ຫຼື ຂອງໄຫຼໃນລະບົບເປີດ ໂດຍເນັ້ນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະອັດຕາໄຫຼຢ່າງສະໝ່ຳເສມ.

ອີກກຸ່ມໜຶ່ງແມ່ນ process chillers ສຳລັບຊ່ວງອຸນຫະພູມຕ່ຳຫຼາຍ ເຊັ່ນ Thermonics A-80-500, A-80-1700, A-80-2400 ຫຼື W-80-600, W-80-1800, W-80-2500 ທີ່ຮອງຮັບ set point ລົງໄດ້ຮອດ -85°C ຫາ +50°C ໃນບາງຮຸ່ນ. ອຸປະກອນກຸ່ມນີ້ມັກເໝາະກັບງານ characterization, reliability test ແລະ ການທົດສອບ process ທີ່ຕ້ອງການອຸນຫະພູມກວ້າງ.

ຕົວຢ່າງສິນຄ້າເດັ່ນໃນໝວດ

TAITEC ເປັນແບຣນທີ່ພົບໄດ້ຫຼາຍໃນວຽກຄວບຄຸມອຸນຫະພູມລະດັບຫ້ອງທົດລອງແລະງານ process ຂະໜາດກາງ. TAITEC CH-402N ແລະ CH-602N ມີຊ່ວງອຸນຫະພູມ -10℃ ຫາ +80℃ ພ້ອມຄວາມແມ່ນຍຳປະມານ ±0.5℃ ເໝາະສຳລັບລະ