MKS RPS-CM12P1-P12C ແຫຼ່ງ Plasma ໄລຍະໄກສໍາລັບ ALD, CVD ແລະ PVD Chambers (12kW)
ຜູ້ຜະລິດMKS(ເບິ່ງສິນຄ້າອື່ນໆຂອງຍີ່ຫໍ້ນີ້)
ModelRPS-CM12P1-P12C
ຕິດຕໍ່
ການຊຳລະເງິນທີ່ປອດໄພ
ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ
ປ່ຽນ ແລະ ສົ່ງຄືນງ່າຍ
ມີບໍລິການຈັດສົ່ງ
Type: RPS-CM12P1 Remote Plasma Source
Power Output: 12 kW, 3 phase 50/60 Hz, 40 Amps RMS max phase
RF Frequency: 400 kHz
Accuracy: ±1% to power set point
Gas Supply During Ignition: Ar
NF3 Process Gas: 1-12 slm, 1-10 T
NF3 Operation Reactant Output: 1-12 slm
THD: >15%
Inlet Gas Connection: KF40
Outlet Gas Connection: KF50 or KF40
Control Interface: Analog: DB25
Digital: EtherCAT
Dimensions: 18.4 x 9.5 x 10.5 in. (46.73 x 24.13 x 26.67cm)
Weight: 73 lbs. (33.11 kg)
Compliance: SEMI F47
ຕິດຕາມຂ່າວສານ ແລະ ຂໍ້ສະເໜີ
ຮັບສ່ວນຫຼຸດພິເສດຕາມປະລິມານ, ອັບເດດລາຄາຂາຍສົ່ງ ແລະ ການແຈ້ງເຕືອນສິນຄ້າໃໝ່ສົ່ງກົງເຖິງອິນບັອກຂອງທ່ານ.
ໂດຍການສະໝັກສະມາຊິກ, ທ່ານຍອມຮັບ ເງື່ອນໄຂການໃຫ້ບໍລິການ ແລະ ນະໂຍບາຍຄວາມເປັນສ່ວນຕົວ ຂອງພວກເຮົາ.
ການຊ່ວຍເຫຼືໍາດ່ວນ
ເຂົ້າເຖິງຜູ້ຊ່ຽວຊານທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນຂອງພວກເຮົາໂດຍກົງ