MKS AX2600-AX2700 ລະບົບຍ່ອຍ Microwave Plasma (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)
ຜູ້ຜະລິດMKS(ເບິ່ງສິນຄ້າອື່ນໆຂອງຍີ່ຫໍ້ນີ້)
ModelAX2600-AX2700
ຕິດຕໍ່
ການຊຳລະເງິນທີ່ປອດໄພ
ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ
ປ່ຽນ ແລະ ສົ່ງຄືນງ່າຍ
ມີບໍລິການຈັດສົ່ງ
Maximum Plasma Power Output: 1.8 or 3.0 kW
Frequency: 2440 - 2470 MHz
Output Accuracy: ±1.5% (from 20 - 100% of max. power)
Power Requirements: 200/208 VAC ±10%, 3 phase, 50/60 Hz
Chemistries: O2 , N2 , H2 O, Ar, NF3 , CF4 , C2 F6 , NH3
Applicator Material: Quartz, Sapphire
Operating Pressure: 2 - 8 Torr
Communications: Analog, RS485, DeviceNet™ or EtherCAT®
Compliance: CE, ETL, SEMI S2-93A, SEMI F47
Time to Match: < 2 sec
Total Gas Flow: 1 - 7 slm
ຕິດຕາມຂ່າວສານ ແລະ ຂໍ້ສະເໜີ
ຮັບສ່ວນຫຼຸດພິເສດຕາມປະລິມານ, ອັບເດດລາຄາຂາຍສົ່ງ ແລະ ການແຈ້ງເຕືອນສິນຄ້າໃໝ່ສົ່ງກົງເຖິງອິນບັອກຂອງທ່ານ.
ໂດຍການສະໝັກສະມາຊິກ, ທ່ານຍອມຮັບ ເງື່ອນໄຂການໃຫ້ບໍລິການ ແລະ ນະໂຍບາຍຄວາມເປັນສ່ວນຕົວ ຂອງພວກເຮົາ.
ການຊ່ວຍເຫຼືໍາດ່ວນ
ເຂົ້າເຖິງຜູ້ຊ່ຽວຊານທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນຂອງພວກເຮົາໂດຍກົງ